二手 NOVELLUS Concept 2 Altus Shrink #9180728 待售

NOVELLUS Concept 2 Altus收縮反應堆是半導體器件制造的通用工具，允許制造結構設計不同的高精度納米級晶體管。概念2 Altus收縮反應器是一種化學氣相沈積（CVD）工具，它允許沈積各種用於裝置制造的薄膜材料。該工具采用先進的等離子體CVD化學方法，以原子精度精確沈積單層材料。NOVELLUS Concept 2 Altus Shrink Reactor的設計使沈積速度更快，在較大的表面積上提供均勻的厚度。通過優化晶圓室收縮時的壓力和氣體流量，可以達到這種能力。結合超高真空和比其他常規CVD反應堆更低的壓力，概念2 Altus收縮反應堆針對臨界層厚度沈積進行了高度優化。它可以沈積各種耐蝕刻材料，為不同器件結構的各種厚度的金屬介電膜提供良好的器件保護和沈積。NOVELLUS Concept 2 Altus Shrink反應堆還可以為模制閘門結構創造高縱橫比的特征，允許卓越的設計靈活性。此外，該工具還能夠沈積聚合物或氮化碳材料的保形納米層，用於柵極絕緣和先進的金屬柵極。概念2 Altus收縮反應器還具有一定範圍的預熱溫度，以更好地控制薄膜厚度，以及高質量、耐用沈積的可變退火後功能。此外,它還具有較高的薄膜吞吐量和生產效率,以及嵌入式診斷。它是一個完全集成的氣體輸送系統，包括配方控制、質量流量控制器、MFC監測以及在線氣體清除和監測能力，以獲得可追溯的結果。NOVELLUS Concept 2 Altus Shrink Reactor有精確設計的工藝室，以改善大面積沈積的均勻性和最小的溫度波動，以及提高工藝穩定性以獲得可預測的結果。該工具還具有自動晶片傳輸，包括晶片加載、卸載、橡膠停止晶片卡盤以及每個配方的晶片數量。它還能夠進行最先進的過程控制,具有易於使用的圖形用戶界面和用於反饋和質量控制的現場計量。