二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Altus #166554 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Altus是一種最先進的反應堆，設計用於半導體制造和MEMS制造的先進材料沈積。反應堆提供了廣泛的能力，是市場上最強大、最可靠的反應堆之一。適合於沈積應力水平最低、折射率變化較大的均勻薄膜。阿爾特斯號利用真空處理室和電子束（E-beam）源。在沈積過程之前，使用功率高達60千伏（kV）的高功率電子槍從表面清除不需要的材料。這一過程使層更緊密地粘附在基板上，並增加了合成薄膜的穩定性。它還允許沈積原本很難用常規方法沈積的材料。該系統包括一個SmartCard，它是一個方便參數設置的接口。它是一個高度可配置的平臺，允許沈積過程配方根據用戶的規範進行編程。此外,CONCEPT 2 Altus還配備了用於全自動過程控制的高級控制器和計算機。這樣就可以訪問從簡單調整到更復雜參數的不同功能。反應堆可以處理各種材料，包括金屬、電介質和化合物。沈積過程由朗繆爾-布洛傑特（LB）或原子層沈積（ALD）實現。LB工藝適用於小分子尺寸薄膜，ALD工藝優化用於生產復雜的穩定氧化物。NOVELLUS CONCEPT 2 Altus還具有能源管理系統（EMS），可降低薄膜沈積過程中的能耗。這有助於降低操作和維護成本,並提高生產產量。此外,與替代品相比,轉換器和發射器非常耐用,這意味著需要更少的停機時間和更少的更換部件。CONCEPT 2 Altus是尋求高性能、低成本沈積功能的用戶的最佳選擇。其先進的特性使得它幾乎適合任何需要沈積薄膜或替代塗層的應用。此外，高功率電子束源、SmartCard接口和計算機自動化的結合，使其成為材料沈積最可靠的反應堆之一。