二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Altus #293627308 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Altus （Altus）是一種反應堆，使用獨特的雙等離子體室設計來支持先進的加工技術。此設計有助於優化設備執行許多過程（如沈積和蝕刻）的能力,從而提高效率和精度。阿爾特斯反應堆利用兩個腔室創造兩個截然不同的等離子體環境。第一室以高功率運行，產生高溫、高密度的等離子體，而第二室以較低功率運行，發出較低溫度、較低密度的等離子體。這種雙腔室設計為Altus提供了無與倫比的靈活性，以支持廣泛的沈積和蝕刻過程，具有高均勻性的覆蓋範圍和質量。Altus還能夠維持極其穩定的加工環境，這有助於減少工藝參數的變化，因此在薄膜顆粒、摻雜濃度和工藝可重復性方面產生優越的工藝均勻性。這種性能是通過一個復雜的護套流管理系統實現的，該系統將護套氣劃分在兩個腔室之間，控制和優化每個階段的沈積和蝕刻過程。重要的是要註意，阿爾特斯反應堆不僅在制造方面表現出色，而且非常耐用。該反應堆采用高質量的材料建造，確保它能夠抵抗過程引起的磨損，並且可以使用更長的時間。此外，Altus反應堆的內部使用先進的復合材料，這也有助於降低其總體維護成本。總之，CONCEPT 2 Altus反應堆是一種先進、通用、可靠的設備，可以支持大規模或小規模的制造工藝。其廣泛的支撐工序，優越的工序統一性，耐用的構造使其成為許多制造企業的理想選擇。