二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Altus #9159135 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Altus是一種單晶片化學氣相沈積（CVD）反應器，專門設計用於在半導體基板上沈積先進薄膜。用於高端集成芯片等電子設備的制造。反應堆使用等離子體增強型CVD（PECVD），這一過程在晶圓上形成高度受控且均勻的薄膜。這個過程從一個加熱氣體進入充滿高密度離子場的反應室開始。反應物氣體隨後被離子註入並減少，在底物表面形成薄膜。該反應堆設計為交鑰匙系統，安裝方便，過程控制嚴密。可以快速、精確地調整工藝參數,以確保沈積周期以最佳速度運行,並將生產成本降至最低。CONCEPT 2 Altus能夠運行多個進程室，最高溫度為800 °C。具有高效、化學均勻性，靶向覆蓋面積大，是先進薄膜沈積的理想選擇。可以在反應器上進行的過程包括蝕刻、薄膜沈積和半導體底物的氧化。另外，通過使用多個工藝室，反應器能夠同時執行各種薄膜沈積作業。反應堆還配備了遠程診斷接口，使操作員能夠遠程、快速地監控和故障排除系統。NOVELLUS CONCEPT 2 Altus是一種高效先進的反應器，非常適合薄膜沈積在SMC和其他半導體基板上。它具有先進的溫度和過程控制系統，能夠在整個工作表面提供緊密而均勻的薄膜沈積。此外，它的多室設計允許同時薄膜沈積，為薄膜制造提供最大的生產力。利用遠程診斷接口和800°C的最高溫度,CONCEPT 2 Altus是高級薄膜沈積作業的理想工具。