二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Altus #9191508 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Altus是由NOVELLUS Systems, Inc.開發的一種高溫金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）反應器，專為先進的半導體制造工藝而設計。具體來說，反應器設計用於生產改進的非矽基板上集成電路的電介質和金屬層。該反應器采用管狀熱墻設計，能夠精確控制溫度和沈積速率。噴嘴可維持高達1000 °C的高溫，其小尺寸允許極精確的控制和高純度的結果。其溫控室絕緣良好，即使受到外界環境溫度波動的影響，也能實現精確、穩定的工藝效果。CONCEPT 2 Altus是NOVELLUS Systems的MOCVD反應堆系列中最先進的。其先進的計算機控制設備能夠對線寬、厚度、表面粗糙度等多種參數進行精確控制。它還允許對薄膜成分進行精確控制，從而允許更先進的應用，如薄層的沈積和均勻的合金膜。NOVELLUS CONCEPT 2 Altus還采用了創新的熱噴冷卻技術來增強性能。集成冷卻系統可提高結果的穩定性和均勻性。熱噴霧還允許更高的吞吐量和改進的單元正常運行時間。此外，有源真空抽油機確保快速抽水，從而減少過程運行之間所花費的時間。總體而言，CONCEPT 2 Altus是一種先進可靠的MOCVD反應堆，專門為滿足最嚴格的半導體制造工藝需求而設計。其創新的設計和計算機控制工具能夠精確控制一系列參數和薄膜組成，從而實現更復雜的技術和應用。此外，其集成的熱噴冷卻資產和主動真空泵浦模型大大提高了其性能，使其成為半導體行業的寶貴資產。