二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Altus #9248936 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Altus反應器是一種化學氣相沈積（CVD）工具，用於將極薄的薄膜沈積到基板上。它配備了自動化的鎖載設備、頂部和底部氣體輸送、基於臭氧的清潔系統、先進的3-d反應堆以及高精度的溫度控制單元。自動鎖載機便於將基板裝卸入腔室，大大簡化了過程，提高了精度。「頂部和底部氣體輸送」是指氣體輸送工具，它包括一個淋浴頭、雙淋浴頭和壁噴射器，允許較高的沈積率，同時允許精確控制分布。先進的三維反應器是專門為提高工藝均勻性和提高膜沈積速率而設計的。這一資產取代了許多其他傳統的晶圓爐，這些晶圓爐用來將薄膜沈積在基板上。它還提供精確的溫度控制，使薄膜的沈積能夠準確、均勻。基於臭氧的清潔模式為無殘留物沈積提供了優質的最大清潔度。氧化過程在沈積前消除了腔壁和表面的顆粒和有機物，從而提高了薄膜質量。高精度溫度控制設備能實現極精確的溫度控制，使薄膜的沈積能夠準確、均勻。它還提供了減少沈積時間和提高基材質量的能力。總體而言，CONCEPT 2 Altus反應器是一種功能強大的CVD工具，具有專門為提高薄膜質量、減少沈積時間和提高工藝精度而設計的先進功能。Altus反應堆利用其負載鎖定系統、氣體輸送裝置、先進的三維反應堆和高精度溫度控制，將在一系列底物上提供一致、優質的薄膜。