二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Altus #9268202 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Altus是一種最先進的高密度反應堆，用於半導體工業制造復雜的集成電路。它是一種等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）設備，設計用於快速高效地處理多層或多層基板。憑借其先進的沈積能力，CONCEPT 2 Altus可用於多種應用，包括薄膜的生產、高k電介質、層間電介質。NOVELLUS CONCEPT 2 Altus使用混合磁耦合等離子體源，結合了電容耦合等離子體（CCP）和電感耦合等離子體（ICP）源，以獲得最大的柔韌性和一致的薄膜質量。反應堆專有的無大型機功率控制有助於減少漂移,並在長期運行過程中保持工藝參數一致,有助於確保生產的每臺設備都具有盡可能高的質量。CONCEPT 2 Altus被設計為具有高度的過程適應性，允許用戶適應廣泛的過程挑戰，如成核、均勻性和步驟覆蓋。增強型氣體輸送系統旨在提供快速氣體轉換和在每種基板上均勻的氣體通量分布。NOVELLUS CONCEPT 2 Altus利用閘閥和專有的上遊氣體輸送精密模塊,可以在整個基板上提供均勻的沈積,並確保生產的薄膜具有最佳的步長覆蓋和均勻性。CONCEPT 2 Altus還設有一系列牽引式組件，包括進、出壓力控制器、石英放大器、調節熱電阻和溫度控制熱電偶。這一系列令人印象深刻的特性確保了基板的均勻性和精確度。NOVELLUS CONCEPT 2 Altus是半導體制造的理想反應堆。它是一個可靠、經濟高效且適應性強的單元,可提供始終如一的高質量膠片和最佳的跨步覆蓋範圍。CONCEPT 2 Altus憑借其先進的磁耦合等離子體源、可調氣體輸送機以及強大的牽引件，是確保產品一致可靠、均勻性的完美工具。