二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Altus #9377394 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Altus是一種物理氣相沈積（PVD）反應器，旨在使多種材料沈積到基板上。適用於一系列應用，包括金屬、半導體、陶瓷和低k介電膜的沈積。Altus是一種創新的先進PVD工具,具有豐富的薄膜和材料沈積技術,具有很高的吞吐量和靈活性。Altus具有最先進的設計，具有雙線性磁源配置、真空壓力容器和無絲狀工藝室。雙線磁源構型將物料的來源直接放置在製程室中，製造出能量極高且均勻的等離子體。這種等離子體允許沈積對膜厚度和組成有精確控制的高質量膜。真空壓力容器進一步提高了工藝的均勻性，允許對工藝參數進行微調。無絲加工室提供了卓越的均勻性和可靠性，以及改進的工藝靈活性。它具有混合工藝選項,允許根據需要更改工藝參數,而無需在沈積前對材料進行任何光學表征。這樣就可以使用多個目標材料和沈積過程,而無需任何系統修改。CONCEPT 2 Altus還具有原位光發射光譜（OES）系統。OES允許對等離子體進行瞬時監測，包括溫度和成分，允許操作員對過程進行實時調整。通過提供沈積的實時數據，Altus確保了一貫高質量的薄膜和可重現的性能。總體而言，NOVELLUS CONCEPT 2 Altus是一種先進的PVD反應堆，非常適合許多應用。它提供了先進的技術，能夠對材料沈積進行精確控制，目標材料的光學特性最小化。此外，先進的原位光學發射光譜法可以對該過程進行實時監測，確保高質量和可重現的結果。