二手 NOVELLUS CONCEPT 2-CVDD-S #293776222 待售

NOVELLUS Concept 2 CVDD S是專門為沈積半導體材料而設計的化學氣相沈積（CVD）反應器。它是一個單一的晶圓，超高真空室，利用前體的低壓氣體混合物生產半導體材料的薄膜。前體氣體被吸入室內，然後被室內產生的高溫加熱分解。這會產生一種以均勻厚度沈積到基板上的蒸氣化合物。Concept 2 CVDD S提供混合模式處理能力，可以沈積氮化物、氧化物、多晶矽和SRD金屬。它還允許快速、自動化的晶片處理,以實現最大的吞吐量,並具有自動配方設置功能,使混合模式沈積的成分之間能夠快速轉換。NOVELLUS Concept 2 CVDD S利用尖端設計提供超高沈降速率性能和卓越的均勻性。它采用剛性晶圓船結構,並配有優化的兩網供電設備,可減少壓降時間（VDT）,實現穩態過程控制。該腔室采用金屬波紋管閘閥密封，以實現卓越的真空維護，同時動力輸送系統提供高均勻性和高度可重復的過程。此外，該裝置還具有全自動基板傳輸機制，可提高晶圓處理效率。Concept 2 CVDD S還具有先進的計算機化過程控制機，具有氣體流速、壓力、溫度、功率、通量等可編程變量。它還提供了廣泛的過程監視功能和調整功能,可實現精確的過程控制和快速的生產。此外,該工具經濟可靠,維護效率低.綜上所述，NOVELLUS Concept 2 CVDD S是一種超高空、單晶片、CVD反應器，具有較高的沈積速率、精確的控制和優異的均勻性。它非常適合廣泛的半導體應用,並具有自動基板傳輸機制、兩網供電資產、可編程參數和一系列過程監控功能等功能。它也經濟、可靠、維護水平低。