二手 NOVELLUS Concept 2 Dual Altus Shrink #9242193 待售

NOVELLUS Concept 2 Dual Altus Shrink Reactor是一種功能強大、用途廣泛的半導體器件制造工具。這種先進的設備非常適合制造高性能、低功耗的集成電路設備。它是一個雙室反應堆設計，兩個室都致力於不同的任務。上腔用於收縮蝕刻，下腔用於低功率定向蝕刻。上室的收縮蝕刻過程允許二維裝置特性在減小的同時仍保持其特性。這是制造小型、快速集成電路的重要組成部分。該過程使用磁增強等離子體源和高效雙棱鏡蝕刻閥進行,使設備功能能夠在低功耗的情況下快速蝕刻。下室為定向蝕刻室。該腔室利用化學輔助離子註入（CAI）從設備表面定向去除材料。這對於陣列結構或特征（如薄互連線或接觸孔）很有用。由於過程非常精確，這使得定向蝕刻過程效率更高。Concept 2 Dual Altus Shrink反應堆需要定期維護和重新校準以確保峰值性能，制造商提供技術支持以實現這一點。清潔解決方案可用於去除石墨和其他可隨著時間推移積累的顆粒物,設備提供的精密軟件包使校準和維護變得容易。總體而言，NOVELLUS Concept 2 Dual Altus Shrink Reactor是制造先進集成電路器件的強大靈活工具。它結合了收縮蝕刻和定向蝕刻功能，加上用戶友好的維護和校準軟件，使其成為半導體器件設計工程師的理想選擇。