二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel Express #9223972 待售
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ID: 9223972
System
User interface: C2-SCON5995
Wafer shape: Flat / Notch
No SMIF interface
No aligner option
Module A / B: Express
Process A: ARC
Process B: AEC
Load lock baratron model: Convectron
Index robot type: Index 2
TM Robot type: Mac 7
TM Robot blade: Metal
Wafer sensor: Existence
Signal tower
No fab installation
Module controller: MC1
Host interface: SECS
EMO: Push button
Front monitor: System UI LCD
Back monitor: CRT
No load lock dry pump
Slit valve insert
Slit valve type: SMC L-Motion
No TM dry pump
TM Throttle valve model: Millipore
TM Baratron model: MKS
Module A / B:
Chamber type: Express
Module controller: MC1
Chamber process: ARC
IOC Version:
IOC1 / 4.1
IOC2 / 4.1
IOC3 / 4.1
Manometer 1(10T): MKS
Manometer 2(1000T): MKS
Process clean type: Normal
HF Generator: AE RFG5500
LF Generator: AE PDX1400
RF Match: Mercury
Heater block type: (6) Stations
End point option: Dual head
Spindle top plate type: (6) Pieces
Spindle type: Ferrofluidic
Foreline gate heat option
Foreline gate valve: HVA
Throttle valve: MKS 2538-15665
Throttle valve heat option
Liquid IOC version: 4.1
No module dry pump
RF Isolation box missing
Pearl kit missing (N2O Treatment kit)
Gas / MFC Size / MFC / Model
N2 / 5 / SLM / Awra FC7800CD
N2 / 10 / SLM / Awra FC7800CD
N2O / 20 / SLM / Awra FC7800CD
NH3 / 10 / SLM / Awra FC7800CD
SÌH4 / 1 / SLM / Awra FC7800CD
O2/CF/ 20 / SLM / Awra FC7800CD
PH3/N2 / 2 / SLM / Awra FC7800CD
N2O / 1 / SLM / Awra FC7800CD
C2F6 / 5 / SLM / Awra FC7800CD
System:
Main power: 208 V, 3 Phase, 5 wires
UPS power: 120 V, 3 Phase, 3 wires.
NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel Express是一種反應堆，用於化學過程和塗層。它設有兩個內部旋轉管和一個平坦的下遊沈積室。它旨在最大程度地提高吞吐量,同時提供最大性能。CONCEPT 2 Dual Sequel Express的主要部件是上下蒸汽射流噴射器、同心坡道和擋板、下遊淋浴和高壓水氣流。上下噴氣噴射器將霧化前體噴入反應室中，然後加熱反應。同心斜坡和擋板增加了反應混合物的停留時間，使得所有組分之間的反應程度更大。下遊淋浴設計用於在反應室的內壁和外壁上沈積任何反應產物。最後，高壓水氣流保證了室內反應的均勻性。NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel Express具有處理多種材料的能力，如丙烯酸、氧化物、矽酮、氮化物、碳化物等。可用於化學氣相沈積（CVD）、物理和化學氣相沈積（PECVD）、濺射沈積。CONCEPT 2 Dual Sequel Express也有處理熱沈積作業的能力。NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel Express還提供了高級級別的控制、分析和安全功能。它配備了遠程生產監視器，允許用戶跟蹤最高工藝參數，以確保精確控制。它還有一個集成的觸摸屏，用於改進用戶界面和數據記錄。數據采集系統提供了反應堆室內實時生產的數據和分析，說明了過程的均勻性。最後，CONCEPT 2 Dual Sequel Express還具有工藝關閉閥和緊急關閉按鈕等安全功能。總體而言,NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel Express提供了一種高效、安全的化學加工和塗層方法。所提供的高級控制級別確保了在任何過程中的精度和統一性。遠程生產監視器和集成觸摸屏使該過程高度用戶友好,從而提高了效率。
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