二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel Express #9249030 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel Express是專門為半導體器件制造中的沈積過程而設計的高性能、雙板、批處理反應器。它具有兩個可串聯或串聯操作的獨立、自分級的板狀腔室,允許同時在一個腔室中執行多達四個工藝步驟（即濺射、蝕刻、CVD等）。順序過程允許任何NOVELLUS反應堆的最高吞吐量。Dual Sequel Express的總容量約為每小時60個晶圓，最多8個晶圓構成工藝配方。該設備具有卓越的均勻性和較高的吞吐量。此外，工作空間是高度可調的，允許用戶定制過程，以優化層均勻性和提高沈積再現性。Dual Sequel Express還集成了先進的自動化產品跟蹤系統和參數控制,以確保實現流程配方的所有一致性要求。它還具有氣體分配單元,可優化氣體混合和霧化.通過調整註入速度和壓力，Dual Sequel Express提供了對腔室中發生的過程的更高水平的控制。Dual Sequel Express的設計確保了它可以用於多種材料和電介質的生產過程。與p型、n型 Si、SiGe、SiC等材料兼容。此外，該機設備齊全，可支撐碳納米管、石墨烯等先進材料。此外，Dual Sequel Express反應堆擁有一個直觀的用戶界面，用戶可以方便地監測和控制反應堆中的所有過程。這種直觀的界面使操作員能夠快速、準確地設置新配方並輕松排除出現的任何問題。它還具有用於預測性維護的自我診斷功能,從而提高了工具的可靠性。總體而言，CONCEPT 2 Dual Sequel Express是為半導體器件制造中的沈積過程而設計的一種先進的雙板批處理反應器。它具有兩個獨立的、可同時運行的自分級電池板室,一個復雜的自動化產品跟蹤資產,一個氣體分配模型,一個直觀的用戶界面,以及用於預測性維護的自我診斷。它的容量可高達每小時60個晶圓，最多8個晶圓用於工藝配方，其可調的工作空間允許用戶量身定制工藝，以確保一致性和可重復性。