二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel Express #9281506 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel Express （DSX）反應堆是專門為需要高精度、重復性和控制的應用而設計的專用雙室單晶圓處理設備。該設計提供了兩個不同的腔室，具有隔離沈積和其他處理系統，能夠獨立或同時運行。DSX反應堆提供了所有工藝工具中最高水平的工藝控制和精度。這主要是通過先進的物料管理和工藝控制技術實現的，包括提供晶圓運動和工藝步驟精確控制的多個獨立電機控制器。此外，DSX能以最小的樣品擾動檢測低至45nm分辨率的晶片內特性，其先進的真空室控制器能夠實時精確監控和維持低壓條件。DSX網絡旨在優化流程均勻性周期和控制流程步驟的數量。其配方優化功能允許用戶在運行時修改和重新優化配方。這為用戶提供了實時調整流程參數時對流程一致性和一致性的最大控制。DSX反應堆還提供多種工藝工具，如濕蝕刻、幹蝕刻和化學/物理氣相沈積（CVD/PVD）。其濕蝕刻系統可在單個吊艙或罐體中處理多達10種不同的化學物質，從而實現最大產量和工藝均勻性。CVD/PVD模塊非常適合高材料沈積速率和精確控制，以實現高度均勻的器件結構。DSX單元需要定期維護，包括燃氣線路驗證、化學安裝和補給、一般機器配置等活動。在此過程中,技術人員應特別註意驗證腔室和工藝線的完整性,然後再進行下一步。為確保操作員的安全，DSX提供了防止潛在危險蒸氣、火花和火災的保護，並配備了一個車載監測工具，以檢查是否存在氣體和顆粒。簡而言之，CONCEPT 2 Dual Sequel Express （DSX）反應堆是一種創新、雙室、單晶圓處理資產，旨在提供高度精確和可重復的過程，並具有最大控制能力。其先進的電機和真空控制器、物料管理功能、配方優化和工藝工具為操作員提供了一個強大可靠的平臺，以確保一致和成功的處理。