二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel #9242195 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel
ID: 9242195
晶圓大小: 8"
優質的: 2010
CVD System, 8" 2010 vintage.
NOVELLUS CONCEPT 2雙續反應堆是NOVELLUS Concept 2反應堆中最尖端的。它是一個批次型反應堆,意味著它可以同時處理多批原料。反應堆允許使用菜單驅動的界面快速改變過程,以及由於分離的過程流提高操作員的安全性。Dual Sequel反應堆包含兩個主腔室,兩者並聯運行,可獨立用於處理不同批次的原料。這些反應堆還因采用NOVELLUS專有的Hastelloy和HP合金結構而具有出色的耐腐蝕和耐侵蝕性能,以及三密封腔室和夾套設計。反應堆配有四個用於引入原料、催化劑和原料改性部件的工藝端口,以及用於分析反應堆內材料的采樣端口。這些端口被重型不銹鋼外殼包圍,以提高安全性,並設計用於加壓或真空服務。原料流經反應堆,通過反應區段,根據需要進行攪拌、加熱和冷卻。NOVELLUS根據原料類型和要求采用連續或半連續的工藝控制。反應堆還配備了位於加熱和冷卻階段的熱交換器,以最大限度地實現熱控制。Dual Sequel反應堆還設有帶再鍋爐的剝離器部分。再鍋爐允許幾種反應產物的高效收斂,以及在排放端口之前分離未反應的原料。Dual Sequel反應堆的其他特點包括一個儀器包,用於持續監測關鍵的過程變量,如壓力、溫度和流速。CONCEPT 2雙續集反應堆是一個最先進的批量反應堆,提供出色的反應堆動力學、工藝靈活性、控制能力、操作員安全以及高水平的產品質量和一致性。此外,該反應器能夠生產傳統批處理過程中不易獲得的新化合物。
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