二手 NOVELLUS Concept 2 Dual Speed Sequel #9314381 待售

NOVELLUS Concept 2雙速續集（又稱C2DSS）是為半導體加工設計的反應堆。它利用專有的雙速體系結構來提供卓越的過程控制,尤其是對於極具挑戰性的材料。C2DSS是一種高效、多區、數控的化學反應設備，可實現精確的溫度控制、過程控制和可擴展性。該系統還具有對所有反應參數的高級矢量控制監控功能。C2DSS具有雙速度體系結構,允許操作員根據應用程序在兩個不同的進程速度之間進行更改。這樣可以提高吞吐量,而不會犧牲過程控制。這有助於在必須精確控制復雜物理特征和材料屬性的應用中。該機組還具有溫度監測和控制、自動壓力調節、動態動力控制等節能功能。該C2DSS設計用於廣泛的沈積過程，可以加工各種材料，包括矽、矽化物和多層材料。其精密的設計還可以實現出色的均勻性和閉環過程控制。此外,該機器還具有內置的安全功能,包括工藝聯鎖、自動關機和振動監視器。C2DSS先進的溫度控制能夠達到最高1000˚C的高溫，同時保持最佳的均勻性和均勻性。這允許熱過程如氣相蝕刻、幹蝕刻和CVD外延。該工具還具有先進的氣體再循環資產，在操作過程中提供最大的反應穩定性和安全性。該C2DSS易於操作,可針對不同的應用程序需求快速重新配置。此外，它還配有廣泛的配件，與各種計算機輔助過程控制（CPC）軟件包兼容。該模型用途廣泛，可用於技術開發、工藝優化、工藝集成和生產。總體而言，Concept 2 Dual Speed Sequel（C2DSS）是專為半導體加工而設計的功能強大且用途廣泛的反應堆。其雙速架構、先進的溫度控制以及對不同材料的高效處理，使其成為各種應用的可靠而精確的解決方案。