二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Speed #293777790 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Speed是一種高端化學氣相沈積反應器，旨在高效生產用於電子器件制造的各種材料。它采用了一種新型的雙速度設備，允許沈積速率高達每分鐘1500埃，同時保持很高的均勻性。它可以用來制造各種金屬、合金、半導體和絕緣體的薄膜和塗層，以及先進的氧化物。反應堆由不銹鋼構成，有一個大的單室，用於加工直徑達300毫米的晶片。它采用專有的低壓、低質量流、化學氣相分配系統，具有6氣體源能力和可變源流速，在材料和沈積條件方面提供了靈活性。該反應堆還采用了脈沖激光燒蝕（PLA）CVD工藝，能夠以非常高的速度沈積非常薄的高質量材料的薄膜。此外，該裝置可與常規氣體反應工藝結合使用，並與許多PECVD和DCAP工藝兼容，在可以生產的薄膜類型上提供靈活性。CONCEPT 2雙速反應器包括一個集成的晶圓處理機，能夠處理多達6個晶圓和多達6種不同的配方。它的高級編程允許更大的靈活性和廣泛的進程參數的設置，以及更高的吞吐量能力。它還有一個先進的安全工具，包括緊急關閉和排放監測資產。NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Speed是一個為最切割-edgefilm生產過程而設計的上規模反應堆。其高性能和先進的安全特性使其成為任何實驗室或生產工廠尋求創造可靠的薄膜和塗層產品的理想選擇。