二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Speed #293819863 待售
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ID: 293819863
晶圓大小: 8"
優質的: 2006
HDP CVD System, 8"
(2) Channels
Perfluorinated chemicals (PFC) detoxification
2006 vintage.
NOVELLUS CONCEPT 2雙速反應器是一種用於半導體制造薄膜氣相沈積的工具。它能夠同時沈積低溫和高溫薄膜，為各種材料的沈積提供了一個快速和經濟高效的解決方案。反應堆由兩個主要元素組成；源膨脹室和沈積室。源膨脹室包含用於蒸氣生產的高溫源（即長絲），並被含有液氮的冷卻套包圍。這使得低溫和高溫氣相沈積所需的溫度能夠保持在腔室內。腔室通過一條通道與沈積室相連，該通道允許蒸氣顆粒從源膨脹室轉移到沈積室。在沈積室內，蒸氣顆粒受到環境條件的影響，這種條件根據所進行的沈積過程的要求而有所不同。沈積室內的這些條件使得各種材料能夠沈積，包括金屬、氧化物和聚合物。CONCEPT 2 Dual Speed Reactor也有一個源-萃取室，允許沈積後有控制地從室中移除蒸氣粒子。因此，源與沈積之間的反應時間最小化，提供了一個快速、經濟高效的沈積過程。最後,NOVELLUS CONCEPT 2雙速反應器是薄膜沈積的有效工具.它具有一個帶液氮冷卻套的高溫源膨脹室、一個用於蒸氣顆粒轉移的通道和一個用於控制蒸氣去除的源提取室。該反應器既可進行低溫和高溫氣相沈積，又可節省成本和時間地解決多種材料的沈積問題。
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