二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Speed #9096020 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Speed是NOVELLUS Systems開發的高性能氣體驅動反應堆,Inc.to滿足多種工業半導體制造要求。該反應堆設計用於在一個連續系統中處理大容量晶片產品，並提供兩種運行速度。Dual Speed版本包括兩組腔室，既可以執行長時間低壓過程，也可以執行較短持續時間的高壓過程。兩速設置允許晶圓處理的最大吞吐量和靈活性。它采用了高效的氣體通量工藝技術，由於氣體負荷低，能夠實現極低的腔室壓力。閉環氣體系統旨在降低與工藝相關的氣體消耗和運營成本。反應堆配有先進的低溫系統，以幫助保持對晶圓溫度的高精度控制。雙速還包括集成流量控制，以優化反應堆環境，確保精確的過程控制。反應堆的設計基於模塊化架構。最大腔室尺寸為22ins x 14 ins，共有8個腔室，允許在利用最小空間的同時進行高效晶圓處理。每個腔室最多可容納16個4英寸晶片或8個6英寸晶片，以提高制造能力。每個腔室還配備了專用的溫度控制和精確的氣體輸送，以實現最佳的過程控制。CONCEPT 2雙速反應堆還采用集成機器人技術進行無縫晶圓處理。機器人手臂用直觀的用戶界面編程，方便操作，晶圓傳輸時間快。機器人手臂具有集中存儲區域，每個周期可同時處理多達48個晶圓。總體而言，NOVELLUS CONCEPT 2雙速反應堆是一種功能強大、先進的氣體驅動系統，旨在滿足工業半導體制造要求。憑借兩速運行、高效的空間管理、精密的溫度控制、精確的氣體輸送、直觀的用戶界面以及集成的機器人技術，這座反應堆具備了滿足嚴格晶圓加工要求的能力。