二手 NOVELLUS Concept 2 Dual Speed #9206614 待售

NOVELLUS Concept 2 Dual Speed Reactor是一種先進的等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）設備，旨在使廣泛的薄膜材料沈積在晶圓和基板上。該系統旨在提供高通量性能，減少反應室循環時間，使多種材料在精確的過程控制下沈積。該裝置采用兩種反應室速度，即雙速度技術，旨在實現高通量和柔性材料沈積能力。為了達到最佳沈積厚度和均勻性，對每種沈積材料的反應室速度進行了優化。高速模式最適合不需要較長反應室循環時間的硬材料沈積等過程。低速模式設計用於沈積需要精確沈積控制的薄膜材料。機器利用可用於優化流程周期時間的調度選項的選擇：最大吞吐量、無限負載或循環調度。最大吞吐量選項旨在通過啟用可用的最長反應室循環時間來優化產量。無限載荷選項的設計使底物均勻性和均勻性的優化整個晶圓使用最短的反應腔循環可用。同時，循環調度選項可用於一次沈積多種薄膜，從而實現沈積材料之間的快速切換。該工具的長壽命RF組件進一步增強,其設計目的是提供較長的過程壽命。資產還利用高級腔室配置和過程控制來實現模型操作的靈活性,同時保持過程的一致性。最後，該設備允許使用各種額外的組件和程序，如原位腔室清潔和基板表面處理，以優化薄膜沈積工藝。通過利用概念2雙速技術,晶圓和基板生產企業可以預期從提高材料沈積能力、縮短周期時間和提高各種薄膜沈積工藝的產量中獲益。這種先進的等離子體增強化學氣相沈積系統旨在確保用戶能夠提供更高水平的薄膜沈積能力，提高通量和工藝均勻性。