二手 NOVELLUS Concept 2 Dual Speed #9259411 待售

NOVELLUS Concept 2雙速反應器是一種先進的反應性離子蝕刻（RIE）工具，利用兩個單獨的脈沖等離子體水平，在保持精確蝕刻選擇性的同時實現更高的蝕刻速率。它能夠在單個設備中執行蝕刻和沈積過程。這種雙脈沖等離子體源和蝕刻/沈積室技術的結合使概念2能夠有效蝕刻介電層和金屬層，並具有精確的工藝控制和優異的效果。Concept 2是一款工業級RIE工具，具有雙速、雙頻、雙脈沖高密度等離子體源。這允許化學反應性，控制離子-中性速率，功率調諧，以及調制工藝氣體。它的雙脈沖等離子體源可以產生單電荷和多電荷物種，從而可以精確蝕刻電介質和金屬。概念2還提供靈活的過程控制，具有任意波形和脈沖寬度。Concept 2的RIE技術還可以在單個系統中對各種材料進行高精度蝕刻。它集成了硬件來有效地控制薄膜厚度均勻性、蝕刻平滑和圖案輪廓控制。概念2還保證可重現蝕刻速率，具有一系列工藝室，並利用鈍化反應堆防止汙染。這需要加載配方參數以確保蝕刻過程的可重復性。Concept 2的RIE技術允許在一個單元中蝕刻各種材料進行大規模生產。它有一個寬廣的工藝窗口，能夠精確控制電介質和金屬層的蝕刻。機器的過程晶片加載和高吞吐量能力使其成為大批量生產的理想選擇。此外,Concept 2高效節能,利用閉環冷卻器降低刀具功耗。這使得它成為任何生產過程的絕佳選擇。