二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Dual Express #9361977 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Dual Express是一種用於生產集成電路的大型化學氣相沈積（CVD）反應器。反應堆是一種雙室設計，可以串聯運行，允許多層二氧化矽（SiO2）和其他材料以單一工藝沈積。概念2續堆設計為晶片製造商建造集成電路提供一種高效且具成本效益的手段。反應器由兩個室組成：一個過程室和一個重新裝填室.加工室是物質層實際沈積的地方；裝填室裝有沈積工具和材料。腔室由一系列管道和閥門連接，允許物料進出加工腔室。每個腔室都配有自己的一套溫度、壓力、氣流傳感器和控制器。CONCEPT 2 Sequel Dual Express反應堆設計為以「dual Express」模式運行，其中兩個沈積步驟同時進行。這樣就可以同時沈積兩層材料,從而實現更快、更高效的制造過程時間。它還能夠沈積具有不同性質的材料，如晶體取向，而不必在不同的沈積室之間切換。反應堆由300毫米火炬加熱系統提供動力，具有先進的溫度和均勻性控制，可以精確控制爐溫。它還利用先進的氣體輸送系統和微粒過濾和捕獲。這些功能結合起來提供了可靠且可重復的CVD過程。反應堆設計用於生產集成電路，如晶體管柵極氧化物、鈍化層和接觸層。概念2續堆設計為在研究和製造兩種設定下都能運作，能夠為高性能集成電路日益增長的需求提供可靠的解決方案。該反應堆具有先進的特點，能夠以比傳統沈積工藝更經濟高效的方式生產質量可靠的高性能裝置。