二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express #293743517 待售
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ID: 293743517
CVD System, 8"
Wafer type: Notch / flat
Process: SION
Mag7 Robot vacuum
Single chamber
Light towers: RYG, 3-Color
Main frame: DLCM Express, 8"
Signal tower: Cool station
Dual load lock cassette module
No integrated SMIF ASYST LPI2200
No front-end option
Process chamber A:
Process type: SION
High frequency RF Generator: RFG5500
Low frequency RF Generator: PDX1400
Gate and throttle valve
End point detector
Manometers: 10 / 1000 TORR MKS
Ferrofluidic spindle
Clean process: IN-SITU
Gas box:
Gas / MFC Size (SCCM)
C2F6 / 5000
PH3 / 1000
O2 / 5000
SIH4 / 1000
NH3 / 3000
N2O / 10000
N2 / 10000
N2 / 5000
Heater
Shower head
Gas box exhaust
2002 vintage.
NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express反應堆是一種高度通用的化學加工設備,設計用於研發和試點制造。該系統提供高性能和高生產率,使研究人員能夠以最短的停機時間和較低的擁有成本探索新的工藝化學方法。CONCEPT 2 Sequel Express反應堆是一個多室單元,利用流體細胞在一個單元中提供多達24種不同的過程操作。反應堆配備了一個靈活性選項,允許反應堆從一室轉換為四室或一玻璃構型。此外,該機具有使用通用試劑的能力。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express反應堆配備了「觸摸屏控制」,允許用戶控制反應參數和調度,以及執行統計跟蹤和過程警報監控。該工具還具有用於優化反應條件和控制的集成真空資產。CONCEPT 2 Sequel Express Reactors設計用於各種研究和工藝應用。這些可能包括有機合成反應、仿生反應、納米材料生產、工藝開發優化和工藝規模化優化。過程控制和數據收集的自動化使得NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express Reactor成為制藥和精細化工制造的理想選擇。反應堆能夠控制溫度、壓力和其他工藝參數,並提供反應動力學的實時反饋。此模型通過消除其他步驟(如中間測試或校準),同時提供準確和可預測的結果,幫助降低工藝成本。此外,反應堆的設計符合安全要求,減少了對額外安全特性的需求。總體而言,CONCEPT 2 Sequel Express Reactor是一種功能強大、用途廣泛且成本效益高的反應堆選項。該設備集成了先進的過程控制和數據收集,有助於簡化和優化研究和制造過程。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express Reactor是那些為其工藝優化和制造需求尋找強大可靠工具的人的理想選擇。
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