二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express #9235840 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express是一種化學機械、高生產力、低成本的原子層沈積（ALD）反應器，設計用於半導體器件生產。CONCEPT 2 Sequel Express已成功用於生產高性能、先進的集成電路設備。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express是一款低成本、高速、全晶圓工藝開發和生產設備。該系統每小時最多可處理150個晶圓，使其適用於各種各樣的內存設備和邏輯設備。其三區反應堆配置確保了整個晶圓表面的均勻性。該裝置還具有高速、極低熱誘導應力、低壓薄膜沈積機。CONCEPT 2 Sequel Express反應堆比其他ALD反應堆系統有幾個優勢。由於其卓越的設計,它提供了更快的吞吐量、更好的統一性和更低的成本。它的兩級沈積工具也是有益的，因為它允許良好的過程控制。該資產還被設計為盡量減少停機時間和最大限度地提高產量，使其極其可靠和具有成本效益。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express還提供了更高的流程效率。兩級低壓沈積過程可以改善表面均勻性、均勻性和更大的film_thickness控制。同時沈積兩種材料也有助於減少浪費，而使用二次晶圓旋轉電動機有助於加快沈積速率，並提供更可靠、均勻的沈積速率。最後,CONCEPT 2 Sequel Express是一種先進的ALD反應器,可提供卓越的生產率、出色的工藝控制和均勻性、低成本和最小的停機時間,是尋求高性能設備和集成電路生產的理想選擇。