二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express #9256798 待售

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圖為 已使用的 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express 待售
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已售出
反應爐
製造商
NOVELLUS
模型
CONCEPT 2 Sequel Express
ID: 9256798
晶圓大小: 8"
System, 8" Process type: PEOX (2) Chambers LCD Monitor, 12.1" Signal tower type: Front Mount DLCM: P166/64M Module controller Cassette transfer: Shuttle type TM Robot: Magnatran 7 003-1600-25 Indexer robot: Indexer type II Motor type: Belt Animatics: CDP2407-2 Arc bar: 26 Slots Cassette mapping: Auto mapping MKS 750B11TCE2GK 10 Torr Manometer GRANVILLE PHILLIPS 275 Mini convectron TYLAN ACX3200 Throttle valve controller Slit valve type: Loadlock VAT/CH SMC IOC: 27-10157-00 Ver4.1 CVD1: ADVANCED ENERGY MN3150274-004 B RF Match network View port left/Right RF Distribution Gas distribution Mix bowl type: Not heated (6) Shower heads Heater block Process chamber ring MESC Flange MKS 627A13TBC Manometer, 1000 Torr MKS 627A11TBC Manometer, 10 Torr UE PV48W-14 Switch, vacuum, atmosphere UE E48W-H14 Switch, vacuum, 15 Torr End point detector VM3200 Integrated dual wavelength EPD (3) IOC: 27-10157-00 Ver 4.1 Controller, throttle valve Interlock PCB, CVD 02-123072-00 Rev A P166/64M Module controller Water flow switch Gate valve, Hi vac, 4" Throttle valve Spindle mechanism Ferrofluidic bellows type Process chamber 4-line type: Vertical Process chamber exhaust type: Vertical EUROTHERM Temperature controller Hastings gauge ADVANCED ENERGY PDX 1400, P/N 27-028379-00 F/R C RF Generator ADVANCED ENERGY RFG 5500, P/N 27-115617-00 F/R A Generator rack CVD2: ADVANCED ENERGY MN3150274-004 B RF Match network View port left/Right RF Distribution Gas distribution Mixbowl type: Temperature setting (6) Shower heads Heater block Process chamber ring MESC Flange MKS 627A13TBC Manometer, 1000 Torr MKS 627A11TBC Manometer, 10 Torr UE PV48W-14 Switch, vacuum, atmosphere UE E48W-H14 Switch, vacuum, 15 Torr End point detector VM3200 Integrated dual wavelength EPD (3) IOC: 27-10157-00 Ver 4.1 Controller, throttle valve Interlock PCB, CVD 02-123072-00 Rev A P166/64M Module controller Water flow switch Gate valve, Hi vac, 4" Throttle valve Spindle mechanism Ferrofluidic bellows type Process chamber 4-line type: Vertical Process chamber exhaust type: Vertical EUROTHERM Temperature controller Hastings gauge ADVANCED ENERGY PDX 1400, P/N 27-028379-00 F/R C RF Generator ADVANCED ENERGY RFG 5500, P/N 27-115617-00 F/R A Generator rack CVD1 / CVD2: MFC (AERA): SiH4 / FC-7800CD, 1 SLM N2 / FC-7800CD, 5 SLM He / FC-7800CD, 10 SLM NH3 / FC-7800CD, 10 SLM O2 / FC-7800CD, 20 SLM C2F6 / FC-7800CD, 5 SLM N2O / FC-7800CD, 20 SLM N2 / FC-7800CD, 10 SLM SSD: MSSD 01-132945-00 with UPS Power: 208 VAC, 3 Phase, 5 wires, 50 Hz, 1000 kV 208 VAC (CVCF), Single phase, UPS 50 Hz, 20 A.
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NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express是一款先進的沈積反應器，旨在為介電、屏障和金屬薄膜的沈積提供最佳的工藝靈活性和最大的正常運行時間。其高效率的設計使晶片的吞吐量以相當高的薄膜沈積速率提高。該反應堆采用了一系列管狀反應堆，專門為確保經濟高效的過程靈活性和優越的控制而設計。其先進的特點包括高速脈沖、減少循環時間，以及能夠在整個晶片上精確管理薄膜沈積和均勻性。反應堆有一個管狀加工室，分為四個單獨可編程的通量區域成一個連續管。這提供了在一個循環中沈積多個薄膜或在不同的通量區域中處理不同的層的能力。腔室能夠支撐從真空到壓力的壓力，以及從室溫到500 °C的溫度。此外,它還允許水平和垂直方向的晶圓處理。反應堆擁有先進的閉環過程控制設備，提供精確的過程管理，以管理沈積速率、層均勻性和沈積速率剖面。它包括反饋和前饋控制等算法，確保在處理過程中對所有這些方面進行精確調整。該系統還允許對進程進行遠程監測和控制。CONCEPT 2 Sequel Express設計為擁有低成本以及高級安全功能。它旨在提供最大化的生產效率,同時也將任何潛在的安全風險降至最低。它配備了一個自我保護單元以及錯誤預防和限制功能，以確保機器在任何時候都能安全運行。最後，該反應器旨在在短周期內提供具有成本效益的薄膜沈積溶液。它能夠支持多種材料,並且能夠自動更改工具集,使其成為一種高度可配置且用途廣泛的工具。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express具有先進的控制和安全特性、高晶圓吞吐量和經濟效益,是各種沈積應用的理想選擇。
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