二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express #9259413 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express是一種化學氣相沈積（CVD）反應器，設計用於在半導體工業的基板上沈積特殊的薄膜材料層。該設備的沈積速率為80至160納米/分鐘，晶圓尺寸為300毫米或更大。它用於金屬間屏障、纖薄互連、襯裏等應用，用於銅和鎢金屬化。該反應堆采用了最先進的SmartFlow™技術，能夠精確控制沈積速率和工藝均勻性。SmartFlow模塊可確保整個晶片表面的高度均勻性,並能夠調節沈積物的厚度。該系統還設計了一個集成冷卻單元，允許在加工過程中對基板進行精確的溫度優化和穩定。CONCEPT 2 Sequel Express具有雙可編程氣體閥，為定制流量和成分提供了一系列選項。這允許形成由多個復合層組成的復雜材料層。該機還配備了低壓渦輪泵，以及渦輪分子泵，允許通過保持真空完整性來操縱過程。該工具具有先進的多路復用能力，能夠同時處理多個基板。這項技術增加了吞吐量,並允許多個晶圓的批處理操作。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express是一款可靠的設備，為半導體行業提供高效一致的沈積工藝。它的高級功能為用戶提供了創建高質量、過程均勻性高的材料層所需的工具。