二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express #9259415 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express是為半導體工業設計的反應堆。它是一種緊湊的單晶片工藝工具，帶有一個獨立的腔室，能夠進行熱化學氣相沈積（CVD）工藝，包括低溫多晶矽、氮化矽、氧化矽、鎢、鋁/銅、介電和其他特種工藝。CONCEPT 2 Sequel Express專為在受控環境中實現最佳工藝能力而設計,提供可靠的操作和統一性,以及高生產吞吐量。它還針對快速循環時間進行了優化，能夠每分鐘運行多達8個晶圓直徑。該工具的總腔室壓力相對較低,通常約為2 Torr,設計時采用一次性全陶瓷基板載體,消除了傳統石英敏感劑載體通常存在的處理和清潔問題。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express通過提供方便配置前端和後端模塊的功能提供了額外的靈活性。在硬件方面，CONCEPT 2 Sequel Express利用靜電卡盤改進了晶圓溫度的均勻性和精確控制。這與溫度、位置、真空和工藝氣體的控制設備相輔相成。其他部件包括泵送系統、工藝室、工藝氣體系統、工藝容器、工藝熱源、加熱排氣和負載鎖。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express CVD腔室的先進設計，旨在優化工藝效果，減少汙染，最大限度地提高吞吐量。它的設計還具有增強工藝安全性的功能，包括用於處理氣體泄漏的主動檢測裝置和用於陽極的雙絕緣封裝。CONCEPT 2 Sequel Express是一款高度可配置的機器，提供出色的一致性和一致性以及可靠和可重復的處理。其簡單的設計確保了易於操作和維護,而為特定作業配置模塊的能力為各種應用程序提供了靈活性。所有這些特性使得NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express成為半導體行業CVD處理的理想工具。