二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express #9362147 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express是一種創新的化學氣相沈積（CVD）反應器，專為生產集成電路產品而設計。CONCEPT 2 Sequel Express利用半導體制造技術的一些最新進展，提供了一個經濟高效、高性能的CVD平臺，用於處理超小型特征尺寸晶片。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express具有可移動的基板支架，具有大的「X-Y」運動範圍，能夠在兩分鐘內快速交換多達10個晶圓。這樣可以減少基材處理時間,並保持高揮發性產品的完整性。基板支架具有可移動的插件，使基板特定對齊，以確保完美的膜均勻性和附著力。反應堆還集成了智能軟件，使優化處理條件得以快速、輕松地建立。CONCEPT 2 Sequel Express包括一個高功率的Process Module,它采用了一系列功能強大的多通道氣體噴射閥來提供對氣體比和氣體流量的精確控制。工藝模塊還包括Avotec® NOX®計算機控制的工藝定序器,用於管理氣流,並在檢測到不希望的殘留物時自動註入防反應。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express配備了脈沖熱塔設備（Putsed Heat Tower Equipment，簡稱PHTS）和原位清潔系統，旨在保證高質量的工藝。PHTS旨在提供高精度的各種溫度,從而改進處理。該系統還包括一個模塊上冷卻劑單元，可以精確控制晶圓溫度，以實現多晶矽膜的最佳沈積。CONCEPT 2 Sequel Express還具有許多增強的安全功能,旨在保護人員和環境。該機器包括一個獲得專利的低壓爆炸潛能裝置（EPD），有效地消除了由於危險氣體積聚而在室內爆炸的風險。還包括一個全自動緊急關機工具，用於在發生災難性故障時保護人員。總體而言,NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express反應堆是一種功能強大的CVD資產,旨在為超小型特征尺寸晶片的大量生產提供高度可靠、經濟高效的沈積工藝。該型號的高級功能和智能軟件可提高性能和安全性,並將幫助您最大限度地提高制造業務的生產率。