二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel #9066527 待售
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已售出
ID: 9066527
優質的: 2007
LCM System, 6"
Single Chamber
Plumbed for Nitride Deposition process
Chamber mounted in Right port location
QNX4 Control Type
MC3 System
Module Controllers
2007 vintage.
NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel是一個革命性的半導體蝕刻反應器,旨在提高制造過程中的吞吐量,降低成本。反應堆利用先進的沈積和蝕刻工藝,高效制造從小存儲器到大微處理器的高質量半導體元件。CONCEPT 2 Sequel是一種高速、高密度的蝕刻系統,能夠以最小的基板損壞操作。它采用獨特的物理氣相沈積(PVD)工藝,在蝕刻前在基板上形成均勻的材料塗層。PVD還會產生高保真蝕刻輪廓,從而產生清晰、可復制的結果。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel還支持高度的流程靈活性,使用戶能夠根據自己的特定需求定制蝕刻參數。該系統有廣泛的蝕刻配方,可以定制,以適應各種材料、壓力、溫度和幾何要求。系統的高級算法和專家控制過程也有助於減少生產周期時間。其高效的周期啟動/停止排序可最大程度地減少停機時間,並且其高度精確的蝕刻控制過程可降低蝕刻速率並減少損壞生產元件的機會。CONCEPT 2 Sequel是一款功能強大的工具,可用於多種生產過程和應用,如設備制造、平面化、化學機械拋光(CMP)和選擇性蝕刻過程。其優越的蝕刻性能和較低的擁有成本使其成為工業和消費者規模蝕刻工作的理想選擇。
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