二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel #9188213 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel是一種用於制造半導體芯片的高性能蝕刻反應器。在介電、多晶矽、鎢和淺溝槽隔離（STI）蝕刻工藝中，它是提高吞吐量、提高均勻性和加快循環時間的理想選擇。Concept 2采用雙壓力雙氣體配置,非常高效。較高的快速啟動壓力允許相對較短的啟動周期時間，而較低的工作壓力則確保了最佳的氣體和顆粒流動，從而降低了加工成本。概念2還具有兩個頻率控制的射頻發生器,可以更精細地控制蝕刻過程。雙微機械、雙LED掃描設備可確保最高吞吐量和卓越的質量結果,甚至檢測到粒徑、均勻性和濺射速率的最小變化。微波發生器允許腔室在啟動時和運行期間立即加熱到所需溫度。結合高效的氣體輸送系統，確保了最高的工藝吞吐量和最佳的均勻性。概念2還具有冷卻等離子體，冷墻結構，它提供了一個優越的熱剖析周圍的區域被蝕刻。這樣可以降低熱梯度,促進更好的節能,減少交叉汙染,並消除因機械傾斜和掃描而造成的反射和循環時間損失。此外,Concept 2支持簡化維護和維修的快速訪問功能。該平臺設有一個集成的診斷中心,操作員可以在整個制造過程中對設備進行更改和跟蹤調整。此外，實時工藝監測機允許操作員監控晶片蝕刻質量和工藝參數。總體而言，CONCEPT 2 Sequel是制造半導體芯片時提高產量、吞吐量、均勻性和節省成本的理想反應堆。