二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel #9247399 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel是一種多用途反應器，能夠進行高沈積速率的過程和多個過程的應用。它的設計采用了先進的熔爐技術和氣體輸送系統，以便能夠加工各種材料。CONCEPT 2 Sequel反應堆有多室設計，允許一次處理更多的腔室，從而使過程時間減少。它可以同時處理多達12個晶圓，從而增加吞吐量。此外，它有一個可變的工藝室大小，允許操作員適應不同的晶圓大小和基板配置進入反應堆。這對那些有興趣加工各種基材的人很有用。該反應堆還具有低壓CVD系統，利用氣體混合技術在晶片之間產生均勻的氣流。這有助於確保更好的薄膜均勻性和沈積材料的可重復性。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel還具有沈積過程中整個晶片溫度分布均勻的特點，采用先進的熱管理技術，如加熱基座和對流。這樣可以提高沈積速率,減少熱梯度問題。CONCEPT 2 Sequel反應堆還包括一個內置的過程流監測系統，讓操作員更好地了解沈積過程，並實時進行調整，如果事情不能如期進行。這對於確保成本效益和準確的過程控制非常重要。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel是一個設計精良、可靠、用戶友好的反應堆，可以用來容納多種工藝和材料。它提供了高沈積速率的工藝和可重復的薄膜，使其成為尋找高效工藝和可靠結果的工程師的理想選擇。