二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel #9250953 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel是一種先進的化學氣相沈積（CVD）反應器，為了能夠下一代IC製造過程步驟而開發。憑借CONCEPT 2 Sequel，NOVELLUS Corporation利用了現有的最佳CVD技術，並將其與增強功能相結合，使其成為市場上最可靠、最先進的反應堆。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel的設計采用了極為通用的配置，以滿足各種各樣的應用。它是一個單晶圓CVD反應堆，能夠以並聯和並聯兩種模式運行，以實現最佳吞吐量或最佳均勻性。在CONCEPT 2 Sequel的物理設計方面，晶片通過強大的、多區域的靜電卡盤固定到位，用於在非常均勻的熱環境中穩定晶片。反應堆還設有多個爐區、高精度加熱器和獨特的高壓氣體輸送系統，以確保每個晶片上的沈積一致。它還具有防止汙染發展的原位清潔機制以及最小化膜應力的沈積屏蔽。除了機械設計外，NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel還配備了先進的軟件，最大限度地提高了CVD工藝的生產率。此軟件的功能包括CVD過程控制、配方開發、數據收集、故障檢測和警報以及高級診斷測試。專為CONCEPT 2 Sequel設計的正在申請專利的NOVELLUS Control軟件包是業界最強健、用戶友好的軟件。總體而言，NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel是最先進可靠的CVD反應堆，適用於最苛刻的應用。其多功能性和廣泛的工藝能力,加上先進的機械和軟件功能,使其成為實現最高質量水平的理想解決方案。這座CVD反應堆可以輕松處理嚴密的規格和上市時間限制，讓其客戶制造出可靠性最高的半導體元件。