二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel #9397737 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel是一種高性能、多站平面反應堆系統，旨在為沈積、剝離、蝕刻等半導體制造工藝提供先進的工藝環境。該反應堆包括一個集成的平面等離子體反應性離子蝕刻（RIE）站，是制造先進裝置結構的理想平臺。CONCEPT 2 Sequel at its core is a large metal box that contains a number different components required to process它包括兩個主要的處理室；一個射頻等離子體室和一個基於磁控管的沈積室。它還包括一個多站平面RIE站。該站可用於晶圓表面多種材料的蝕刻，如金屬、金屬箔、氧化物，甚至塑料材料。NOVELLUS CONCEPT 2續作擁有四個不同的處理室；用於RIE蝕刻的蝕刻室、用於化學氣相沈積（CVD）的沈積室、用於化學剝離有機材料的剝離室和化學機械拋光（CMP）室。在RIE腔內，射頻（RF）電源驅動等離子體產生以非常精確的過程控制直接蝕刻晶片。基於磁控管的沈積室包含兩個陰極，其中一個用來產生氣體等離子體，而另一個用來磁性結合等離子體內的粒子。這類沈積允許多種不同的化學過程，如等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）和原子層沈積（ALD）。CONCEPT 2 Sequel還具有高度可配置的帶狀腔室，提供了從晶圓中去除有機材料的有效手段。CMP腔室利用高速液體漿料與拋光墊結合，機械拋光晶片，以去除任何不需要的材料並獲得光滑、均勻的表面質量。總體而言，NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel是一種先進的高性能反應堆系統，能夠制造先進的設備結構。CONCEPT 2 Sequel憑借其集成的平面等離子體RIE站，能夠以非常高效的方式進行各種不同的沈積、剝離、蝕刻和CMP工藝。該反應堆系統無疑是對傳統腔室順序工藝的重大改進，使其成為制造半導體材料的理想平臺。