二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel #9399068 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel是為晶圓加工而設計的高溫化學氣相沈積（CVD）設備。為滿足最苛刻的半導體制造需求而設計的CONCEPT 2 Sequel反應器可在各種底物溫度下提供卓越、精確的薄膜沈積控制。該系統利用加熱器基座基礎，能夠對高達1000攝氏度的基板溫度進行可靠和準確的控制。也可以針對高達1 Torr的過程壓力進行配置。NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel擁有創新的多活塞設計,允許同時使用金屬或金屬有機原料。CONCEPT 2 Sequel中使用的工藝氣體可以自動分配，也可以手動控制，從而提高膠片的均勻性和厚度。其封閉式開放式腔室設計可方便地安裝在現有生產線中，並在基板內實現最佳溫度平衡。它還允許捕獲可能汙染大氣的廢水。除了其優越的溫度和壓力控制，NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel還具有高效的氣流控制單元。本機監視反應器內部的氣流，可以快速調節基板內的壓力和溫度水平。而且，反應堆與半導體制造執行工具（SMES）軟件中的程序兼容，允許用戶輕松跟蹤資產的性能。使用最新的NOVELLUS技術建造的CONCEPT 2 Sequel反應堆具有很高的可靠性和高能效。它還具有多種安全功能,可保護模型免受有害材料、熱量或壓力幹擾。最後,NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel特別易於維護,在需要維修時只需要最少的停機時間。