二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed DLCM #9109574 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed DLCM是一種先進的多功能化學氣相沈積（CVD）反應器，提供更高的速度、吞吐量和效率水平。它是為高密度材料的應用而設計的，如銅、紅、鋁，並包括了多項功能，以確保沈積條件的精確控制。該反應堆采用獨特的載流子設計，采用雙速高速擬合氣體分流器、線性掃描級以及可調節的直接液體冷卻機構，以確保優越的溫度均勻性。直接液體冷卻機制允許快速過程冷卻，並防止對基板的熱損傷。CONCEPT 2 Speed DLCM也有半透性磁場阻止層，限制氧氣和其他氣體進入沈積區。這一特性使沈積速率和均勻性得到更好的控制。Novello NOVELLUS CONCEPT 2 Speed DLCM還設有兩級微波等離子體放電系統，可對電離和沈積參數進行精確控制。線性掃描階段可快速準確地掃描反應性氣體，同時減少氣相噪聲和氣體混合。CONCEPT 2速度DLCM易於使用,具有多種功能,可用於精確的沈積控制。用戶界面設計簡單直觀，帶有觸摸屏控件和大型圖形液晶顯示屏，便於監測沈積參數。過程參數，包括氣流、溫度、壓力和微波頻率都可以實時調整，提供了對沈積參數的高度控制。最後,NOVELLUS CONCEPT 2 Speed DLCM利用先進的安全功能進行安全一致的操作。它采用互鎖電路設計，在檢測到意外情況時停止過程反應。此外，反應堆采用先進的顆粒監測過濾系統，提高了沈積過程的安全性和質量。總體而言，CONCEPT 2 Speed DLCM是一種高性能沈積反應器，旨在使高密度材料的沈積速度和精度成為可能。這種反應堆是工藝工程師、研究科學家和學術實驗室的理想選擇，因為它具有可靠的安全特性，能夠很好地控制沈積參數。