二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed-S #9206613 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed-S Reactor是一種化學氣相沈積（CVD）工具，用於在工件表面施加非常薄的材料層。這種CVD工具可以沈積多種不同的材料，如鋁、矽、​​的、和其他準金屬，其作用是修改和增強基板的表面特性。Speed-S反應堆對沈積層的納米級厚度和化學成分提供無與倫比的控制。該反應器在反應室中保持超高真空環境，以實現最高質量的薄膜沈積，並確保該工藝以最小雜質運行。Speed-S Reactor的設計效率極高，在整個基板表面提供均勻的薄膜分布，同時消除任何沈積缺陷。這是通過結合先進的技術來實現的，例如其獲得專利的GasFlow-3設備能夠精確控制工藝氣體的流動，以及在整個沈積過程中不斷清潔工件表面的Brush-Lift系統。Speed-S Reactor還能夠通過其玻璃自旋特性提供可重復的有機物質層，如聚合物，使量身定制的薄膜易於生產。該裝置的易燃殘余氣體管理機器（FRGMS）確保安全和符合政府規定，而反應堆的「ActivePlay」技術允許從非接觸式遠程位置遠程監測和控制Speed-S反應堆。Speed-S Reactor能夠在整個基板區域可靠地生產出厚度均勻的可重復、均勻、非常薄的薄膜，從而增強了表面特性，提高了耐腐蝕性。沈積過程利用高溫、高精度的烤箱，可以沈積各種薄膜厚度的材料，從數千埃到數百微米。Speed-S Reactor的設計容易融入現有生產線，並與多種自動流程兼容。該工具還具有一個「SmartLink」，允許即時優化流程，使用AI驅動算法實時調整流程參數。這使得Speed-S Reactor非常適合汽車、航空航天和電子等精密行業。Speed-S Reactor提供長期的可靠性、低成本的維護和易於操作，使其成為介電膜、原子層沈積、光伏層等應用的首選。