二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Sequel #172487 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Sequel是NOVELLUS最新加入的Concept 2 Speed系列反應堆之一。它以先進的半導體制造部門為目標，使晶圓工藝能力升級變得簡單、經濟高效。CONCEPT 2 Speed Sequel旨在為用戶提供比傳統單晶圓刀具體系結構更高的吞吐量速率,同時即使在非常高的晶圓速度下也能提供卓越的控制和可重復的過程性能。NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Sequel建立在原始Concept 2 Speed工具的能力之上，提供兩個截然不同的過程控制級別。這包括高分辨率層成像、實時腔室管理以及對各種先進材料過程的嚴密過程監控。該反應堆建立在Concept 2 Speed架構之上，設有UV光輔助CVD （PECVD）工藝室和氣體輸送設備。它能夠精確控制整個晶片表面的薄膜厚度均勻性，並在高晶片速度下提供優異的生產產量。CONCEPT 2 Speed Sequel的獨特設計為系統配備了高效的氣體屏蔽技術，為防止側壁氧化和過程等離子體耦合提供了出色的保護。該反應堆還具有先進的控制器單元，可以很容易地編程，以完成復雜的多步驟過程，最小的努力。先進的控制機器可以預先設定用戶定義的參數，並且該工具能夠以極高的精確度、重復性和產量來執行配方。為了提供進一步的靈活性，NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Sequel具有現場監測和分析能力，能夠實時監測反應堆環境和晶圓過程。這有助於確保跨不同晶片的過程一致,並防止過程變化。最後，CONCEPT 2 Speed Sequel是一種高效可靠的反應器，旨在滿足先進半導體生產的需求。它能夠為用戶提供高水平的靈活性、過程控制和可重復性,以及提高的吞吐量和優異的產量。