二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Shrink #9294359 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Shrink是一種用於半導體及相關制造業的高速、高性能物理氣相沈積（PVD）反應器。它能夠沈積用於互連、設備制造和設備保護的多層薄膜。Concept 2反應堆是一種光學和機械上先進的「浮動」腔室設計，利用超剛性動態腔室組件減少振動，最大限度地提高通量。概念2使用了先進的PVD膜沈積設備，允許鋁、鎢和銅膜沈積在一個工具中。操作員能夠設定沈積速率、目標厚度和層組成，允許可重復和可靠的薄膜。此外，概念2可以生產廣泛的薄膜，如氧化物、氮化物和金屬矽化物。為了提高薄膜均勻性，概念2采用了先進的線圈耦合磁控管系統。這個單元利用兩個磁控管，一個產生濺射等離子體，另一個中和室內的電子，產生低粒子生成的均勻薄膜。此外,Concept 2還利用高級內部流程控制來進行配方調整和流程優化。概念2設計采用紅外激光研磨機,可實現較好的基板對準.這種工具可以精確地調整晶片的表面拖曳10 μ米的設計平面。該資產還具有先進的晶圓餐飲能力，允許在一個進程運行中堆放多達10個不同的薄膜。可以根據沈積的特定薄膜調整工藝參數，從而產生可重復的厚度和組成。在安全特性方面，NOVELLUS Concept 2的特點是當控制模型發現有危險的壓力積聚時，它會關閉腔室氣體。此外，該設備還具有積極進取的洗滌器系統，以確保潛在有害顆粒的安全排放水平。此外，工藝氣體可以在不同的分支中隔離和監測，以便於維護。總體而言，CONCEPT 2 Speed Shrink Reactor是一種先進的PVD工具，能夠沈積多層膜，具有極好的均勻性和可重復性。它是半導體及相關制造業的關鍵工具，因為它能夠生產具有卓越安全特性的高性能薄膜。