二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9105955 待售
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已售出
ID: 9105955
晶圓大小: 8"
System, 8"
System Controller: MC3
Signal Tower: None
AC power rack: Standard
Interconnect cables: Not Available
DLCM
Transfer Robot Type: Brooks MTR 5
Paddle Type: Standard
Shuttle Type: Standard
Cassette Type: Unknown
Indexer Type: Type II
Animatics Type: MEI missing
Cool Station: Missing
SMIF loader type: None
Manometer: Missing
Second manometer in frame: 10 Torr
Facilities Configuration: Either
Control System: QNX4 unknown IOC
Pedestal Lift: Yes, Standard
Turbo Pumps: Missing
Ceramic Dome: Yes, type unknown
Gas Nozzles: Yes, type unknown
ESC: Missing
Temperature Control: Missing
RF Generators
HF RF Generator: NONE
LF Generator: NONE
HF, Cable Length: Missing
LF, Cable Length: Missing
Gas Box Chamber A
Gas Channels: 6
Valves: 6
1 Ar 1000 sccm AERA 7800 CD
2 O2 500 sccm AERA 7800 CD
3 NF3 Manifold E AERA 7800 CD
4 SiH4 500 sccm Unit 1661
5 He 500 sccm AERA 7800 CD
6 Missing
7 H2 500 sccm AERA 7800 CD
8 H2 2000 sccm AERA 7800 CD.
NOVELLUS CONCEPT 2 Speed reactor是用於生產集成電路（IC）的先進半導體制造設備。該系統旨在生產既經濟高效又符合最高質量標準的高性能設備。該裝置結合了先進的蝕刻、沈積和表面處理技術的獨特組合。該機器非常適合生產各種集成電路,包括數字、模擬、射頻、光電、MEMS和電源電路。工具的核心是量子共振室（Quantum Resonant Chamber，QRC）。這是一種先進、超高真空、高分辨率的蝕刻資產，能夠在各種材料和各種不同的基材上進行精確和可重現的圖樣。QRC能夠產生最困難的幾何形狀,其特征尺寸小至10 nm。它還能夠產生工業上無與倫比的具有平坦度和線緣粗糙度（LER）值的亞微米橫向和垂直圖案。QRC由CONCEPT 2速度沈積模塊（NDM）補充。該技術平臺是專門為高沈積速率和優越的膜均勻性而打造的。該模型能夠沈積多種材料，包括多晶矽、金屬、氧化物、氮化物和絕緣體。它還可以提供各種特殊的薄膜，並能夠制造先進的3D-structures。此外,NDM的設計是為了最大限度地提高吞吐量和最小化晶圓循環時間.為此，NDM能夠在四個不同的腔室中同時裝卸多達300個晶片。它還能夠並行執行多個工作流,並且可以與多個進程控制系統連接。NOVELLUS CONCEPT 2 Speed旨在滿足最嚴格的無汙染物要求，包括低至0.15微米的顆粒汙染要求。該設備能夠產生大量的特殊成像和蝕刻工藝，如升空、凹槽、SiN蛋白石和深蝕刻。該系統還提供專門的光纖和電子束工藝。總體而言，CONCEPT 2 Speed Reactor是一種先進、高性能、經濟高效的制造裝置，為生產領先的IC提供了無與倫比的靈活性和準確性。
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