二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9146623 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reactor是一種先進的、用途廣泛的化學氣相沈積（CVD）工具，用於在大批量制造中創建半導體器件層。它能夠處理尺寸達350毫米的基板，包括先進的MPU和高性能的晶體管設計。來自NOVELLUS的CONCEPT 2 Speed Reactor具有靈活的多站架構，允許高吞吐量和低成本的每模具生產。反應堆包括一個雙反應堆、雙基板處理設備，使大型300和350毫米晶片的前後同時處理成為可能。它還具有一個全面的晶圓處理機制，使處理站之間的快速轉移。該反應堆利用先進的沈積工藝，能夠處理各種材料，包括矽氧乙烷氫氣（HSQ）、多晶矽和矽酸鹽玻璃。它旨在提供整個基板的最佳溫度均勻性和精確的層厚度控制。該平臺利用高壓低功率模式，最大限度地減少過熱速率的不良影響，並確保可重復沈積結果。它還采用垂直對準器和重新對準器在反應堆腔內進行底物處理和定位。該反應堆包括一個真空系統，能夠實現高真空水平並長期保持真空，確保可靠和可重復的CVD工藝。抽水裝置裝有一個集成捕獲機，從腔室中清除顆粒，提供清潔蝕刻處理。NOVELLUS CONCEPT 2 Speed專為最高可靠性和生產吞吐量而設計。它具有一整套監控、反饋和故障保護功能,可以將平臺無縫集成到生產線中。反應堆進一步配備了先進的靜電卡盤（ESC）。這些可以在晶片階段實現精確的晶片夾緊,電壓值極低。CONCEPT 2 Speed配備了數據記錄工具，可以為用戶提供有價值的數據。記錄記錄的產量、工藝歷史、配方開發、缺陷數據等關鍵參數，有助於產量和吞吐量的優化。最後，NOVELLUS CONCEPT 2 Speed是一種先進的CVD反應器，設計用於高容量、低成本和可重復沈積處理。它配備了全面的晶圓處理和監控系統，能夠可靠的下遊處理和高吞吐量。該反應堆提供清潔蝕刻工藝，能夠加工各種材料，從矽氧基氫到矽酸鹽玻璃。