二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9146625 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reactor是一種專門的設備，設計用於提高半導體制造過程的速度，同時提高最終產品的一致性。這一設備用於生產集成電路、內存等精密電子元件等半導體器件。CONCEPT 2 Speed Reactor擁有獨特的設計，能夠在最佳循環時間內實現盡可能高的晶圓廠速率，同時將汙染降至最低。它是一個兩區、高溫帶的擴散室，有獨立加熱的退火和沈積區。沈積帶將基板固定在稱為「基板升降機」的兩個升降機中的一個升降機上，該升降機將基板提升至高達850 °C的溫度範圍，從而可以精確沈積所需的金屬和材料。退火區包括利用感應爐技術快速旋轉和混合各種金屬和其他材料的旋轉卡盤。NOVELLUS CONCEPT 2 Speed反應堆包括一個稱為「多系統接口」的專門硬件和軟件平臺。該界面允許用戶控制、監控和調整各種參數，包括溫度、氣流、壓力、湍流等因素。多系統界面還使用戶能夠調整配方，監控反應過程，並接收反應狀態的反饋。除了先進的硬件和軟件組件外，CONCEPT 2 Speed Reactor還設有專門的氣體輸送系統，利用氦氣、氙氣、氮氣、氫氣、真空和其他特殊氣體優化腔內的擴散和沈積過程。NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reactor因能夠達到快速循環時間和高晶圓率，是許多不同製造需求的理想解決方案。此外，反應堆設計為運行幹凈，沒有顆粒汙染矽片和組件。與其他類似反應堆相比，利用較少的原材料和能源來完成相同水平的制造也是高效的。