二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9189030 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed是一種先進的半導體加工反應器，采用超高真空（UHV）技術進行精確的薄膜沈積。這種反應器通常用於半導體制造廠，在微觀水平上制造復雜的結構。反應堆的主要設計部件之一是其獲得專利的射頻能源，能夠極精確地控制沈積層的沈積速率和厚度。反應堆還裝有許多其他組件，便於精確控制沈積過程，並便於生產符合客戶要求的確切規格。CONCEPT 2 Speed Reactor利用了一個直徑40厘米的、包含特高壓空間、一組加熱線圈以及各種氣體進排氣口的熔爐。腔室周圍有兩個低壓區和一個高壓區，向空心基板支架輸送反應性氣體。該支架還裝有電阻加熱尾翼和法拉第籠，確保材料的精確沈積，並完全控制離子束能量。反應堆的輸電設備還能夠為加熱、惰性氣體和反應性氣體沈積過程提供精確的射頻能量。該系統可提供高達500 kW的射頻功率,並通過軟件控制,利用過程中的實時反饋。此外，NOVELLUS Concept 2 Water Speed還采用了脈沖分選技術，用於離子束蝕刻、選擇性制圖和其他反應堆無法使用的其他工藝。NOVELLUS CONCEPT 2 Speed的冷卻是通過浸入式循環器完成的,該循環器向腔壁的內圈提供冷卻水。該裝置確保溫度保持在最佳水平，確保準確和精確的沈積。除了這些部件，CONCEPT 2 Speed reactor還包含一臺計算機輔助的過程控制機。該工具能夠監測溫度和壓力以及沈積速率，同時還提供微調沈積過程的能力。NOVELLUS CONCEPT 2 Speed是一種極為先進和精確的沈積反應器，非常適合廣泛的應用。該反應器具有多種特點，可對沈積過程進行全面控制，並能夠以極高的精度生產復雜的薄膜結構。