二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9238452 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed是一種先進的雙處理等離子體增強型化學氣相沈積（PECVD）反應器，旨在提供改進的零件均勻性和提高制造吞吐量。它是目前市場上用於薄膜塗層沈積的最先進的PECVD系統之一。CONCEPT 2 Speed PECVD反應器利用具有射頻支撐、非熱等離子體的雙處理室，創造出一層具有非同質性和性能的均勻塗層。2 Speed系統利用兩個交替的工藝室和兩個單獨的射頻發生器,提供了卓越的層精度、均勻性和表面質量,與單室系統相比,可改進薄膜控制、可重復性和準確性。這種PECVD系統具有高精度的過程氣體計量和控制，有助於確保適當的工作參數和基板均勻性，以改善過程控制和均勻性。它還提供了一個直接的等離子體發生器，這有助於減少工藝室汙染，同時提供卓越的可重復性。它為用戶提供了廣泛的可選工藝氣體成分和腔室壓力，允許多層沈積復雜拓撲。NOVELLUS CONCEPT 2 Speed還為高密度塗層提供了改進的過濾。這樣就不需要額外的清潔和幹燥周期,從而提高了吞吐量並提高了成本節約。它還具有一個徹底監測基板溫度控制，這有助於減少缺陷的形成。CONCEPT 2 Speed PECVD系統專為各行業的潔凈室和生產應用而設計。適用於氧化物、氮化物、碳化物、氟化物等塗料，應用範圍包括半導體加工、平板顯示器、汽車、光電、裝飾塗料。