二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9301536 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reactor是專門為超低溫過程設計的沈積系統。由NOVELLUS Systems, Inc.開發的CONCEPT 2 Speed Reactor是一種單室工具，混合線性陰極，由直流脈沖電弧提供動力。這種獨特的設計能夠在大約125°C至175°C的溫度下運行過程，並能夠沈積從氧化物到氮化物或由金屬、矽化物和矽相關材料組成的單層等範圍更廣的材料。NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reactor設計用於在單個單元中執行多個過程。這些包括但不限於薄膜沈積、腔室清潔、氣體分配和電極處理。每個流程都可以獨立運行或按順序運行,以優化流程條件。反應堆還設計了一個可移動的腔室，允許高效和準確的質量控制分析。CONCEPT 2 Speed Reactor也有內置的自動淋浴頭配置。這允許在整個腔室中均勻分布工藝氣體，以及控制晶圓表面的溫度。此外，陰極組件設計有金屬或金屬矽化物沈積的兩個可互換部件。這兩個組件允許單獨或雙進程電源調節。NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reactor的占地面積比NOVELLUS以前的反應堆系統要大。這增加了接口區域,並為對過程優化至關重要的功能提供了更大的區域,例如更好的均勻性和改進的可重復性。反應堆還提供卓越的清潔技術，以消除可能損壞晶圓或部件的顆粒或汙染物。CONCEPT 2 Speed Reactor在自給自足的環境中運行，通過消除對真空系統的需求來降低工藝成本。此外，反應堆的工藝氣體流速非常低，可以配置為高效利用工藝氣體。並且由於它的設計，反應堆能夠運行多個過程與一個單室系統和一組真空源。最後，NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reactor是超低溫過程的絕佳工具。與之前的NOVELLUS機型相比，它擁有更大的占地面積，並采用混合線性陰極和自動淋浴頭配置設計，從而提高了均勻性和可重復性。它還能夠在一個單元中處理多個進程。CONCEPT 2 Speed Reactor提供卓越的清潔技術，高效且工藝氣體流量較低。