二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9358724 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed是一種生產級、高度自動化、多室、離子束蝕刻反應器，設計用於高性能集成電路的精密蝕刻。CONCEPT 2 Speed在生產級別設置中提供了無與倫比的可重復性和基板一致性。它可靠、高度可配置,並提供高端、一致的離子束蝕刻（IBE）性能。NOVELLUS CONCEPT 2 Speed經過優化設計,可在單室反應堆環境中提供卓越的質量和可重復性。它能夠以盡可能高的精度和可重復性蝕刻高性能集成電路。CONCEPT 2 Speed利用多離子束配置,具有高均勻性雙FOUP技術,可在所有基板上提供高均勻性。它是為生產具有最高精度和控制水平的特征以及在整個基板寬度上的深度蝕刻配方而設計的。蝕刻室是雙壁的，並設有獨立的冷卻系統，以確保內部溫度保持穩定和一致的優越蝕刻質量。NOVELLUS CONCEPT 2 Speed還提供了其他功能,使操作員能夠優化蝕刻工藝。它可以配置為獨立的舞臺和腔室控制，允許完全的靈活性，如果一個特定的基板需要一個定制的設置。它也可以用各種主動控制算法來工具來提高蝕刻過程的性能。這包括Adaptive IBE Control （AIC）,它利用實時反饋控制來調整蝕刻環境的變化,並優化蝕刻性能。CONCEPT 2 Speed的創新設計允許更大的基板吞吐量、更快的加工周期和卓越的可靠性。它配備了跟蹤蝕刻過程性能的診斷功能,確保過程保持一致和優化。現場支持服務團隊在業界是無與倫比的,它為客戶提供了無與倫比的技術和運營洞察力。憑借其獨特的設計和特點，NOVELLUS CONCEPT 2 Speed是高端集成電路的終極IBE蝕刻反應器。