二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9389932 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed是一種用於半導體制造的高速反應堆。它結合了多種先進技術,為芯片制造商提供經濟高效、高性能的解決方案,以滿足其緊迫的期限和具有挑戰性的準確性要求。CONCEPT 2 Speed是一種快速註入/原位清潔等離子體增強型化學氣相沈積（PECVD）設備,可實現快速保形膜沈積,具有無與倫比的均勻性、膜應力控制和沈積速率能力。該反應堆利用了多種集成特性，可提供高性能沈積結果。這包括帶有屏蔽淋浴室的Krytox™直接沈積鼓、閉環射頻發生器控制和個性化石英工藝組件溫度控制。快速氣體交換能力進一步確保了過程的穩定性和有效的氣體目標使用。NOVELLUS CONCEPT 2 Speed還配備了實時基板映射系統和先進的過程控制軟件。這使得反應器可以現場監測底物，並利用映射數據根據需要精確調整工藝參數，確保完美的無缺陷薄膜沈積。CONCEPT 2 Speed還通過其兩區處理策略提供了卓越的均勻性和精確的厚度控制。這使得它能夠快速調整基板的蝕刻速率，以適應「層對層」和「自下而上」的制造過程，提供令人難以置信的高吞吐量。反應帶與輻射屏蔽相結合，確保了高水平的轉移效率，同時保持極低的底物溫度。為了進一步提高效率和成本效益，該裝置配備了一個集成的化學整理機，可自動監測和控制化學過程中的每一個部件。這確保了整個反應過程中的質量、高壓和溫度控制。NOVELLUS CONCEPT 2 Speed是當今市場上最先進的反應堆之一。它非常適合在下一代工藝中需要經濟高效且高性能工具的半導體制造商。它的高級功能提供了增強的控制、精確的精度和高效的沈積結果,可幫助芯片制造商滿足最苛刻的應用要求。