二手 NOVELLUS CONCEPT 2 TiN #9206612 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 TiN（熱智能氮）是一種等離子體處理反應器，在大基材尺寸上提供保形薄膜的優化沈積。它兼具高通量和高均勻性特性。CONCEPT 2 TiN反應堆由NOVELLUS Systems, Inc.制造，具有獨特的設計，利用熱智能氮（TIN）等離子體確保在大塊場地上均勻沈積。設計包括一個高溫室，在其中保持氮的氣氛。通過添加脈沖直流電源進一步優化了這種環境，該電源產生了高密度、低護套電場。室內溫度、壓力和電場的獨特結合，使得電子能級得到精確控制，為沈積過程提供了穩定性和均勻性。氣體被加熱到200至300 °C的溫度，然後通過等離子體室內的一系列電極。電子通電電離，形成高密度穩定的等離子體環境。沈積過程從源材料汽化開始，然後在氮氣大氣中輸送汽化材料。到達腔壁時，發生等離子體蝕刻。生成的等離子體離子隨後沈積在底物水平，並與表面原子反應，產生所需的薄膜。NOVELLUS CONCEPT 2 TiN反應堆還具有可調功率水平，允許工藝工程師微調沈積速率，以滿足每一個具體應用的需要。CONCEPT 2 TiN反應器是非常均勻的高通量沈積的理想選擇。其先進的操作參數提供了對電子能級的精確控制，確保了準確的沈積和提高的產率。NOVELLUS CONCEPT 2 TiN反應器的效率和精度使其成為大尺寸基板上保形薄膜沈積的理想選擇。