二手 NOVELLUS CONCEPT 2 Triple Speed #9096021 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Triple Speed是為高生產力外延（HPE）和先進光刻應用而設計的CVD反應堆。它旨在提供卓越的CVD性能,具有極高的沈積速率,具有200 nm/min的均勻性和0.5 nm/min的非均勻性規格。它具有三個級別的功率，可以調整，以使所有應用的EPI結構的最優生長和表面平面度。三速反應堆在一個三級反應室運行，其中每一級占不同級別的功率。首先，采用低功率基板級來降低晶體過度生長的風險，提高表面平面度。第二階段是強大的介質等離子體，以創造均勻的生長條件。最後，采用高功率氫等離子體進行層間成形。另外，CONCEPT 2 Triple Speed配備了TurboStar技術，該技術通過基於反應室的相位創建聚焦等離子體口袋來促進加速沈積。這樣可以提高處理速度,同時保持一致性和保形性。三速反應堆還被設計為與多種先進的添加工具和光刻光學器件兼容。其低擁有成本的結構確保了最低限度的維護和長期的成本節約。NOVELLUS CONCEPT 2 Triple Speed非常適合那些希望通過提供更快的周期時間、更高的產量和更高的可重復性來改進制造過程的用戶。