二手 NOVELLUS Concept 2 Triple Speed #9203792 待售

NOVELLUS Concept 2三速反應堆是一種高科技蝕刻沈積設備，旨在滿足半導體行業的嚴格要求。它提供了流程多功能性和快速周期時間的獨特組合,從而以較低的擁有成本獲得高質量的結果。Concept 2 Triple Speed使用了統一的等離子體技術，允許它在單個平臺上同時處理蝕刻和沈積。這使系統能夠加工各種材料，包括金屬、氧化物和聚合物。它具有較高的蝕刻速率和較低的排便率，具有優異的長寬比和較高的階梯覆蓋率。該單元有三種基本模式：平面、平面和深度,在深度模式下最大縱橫比可達到20：1。這允許了廣泛的工藝材料和應用，從淺溝隔離（STI）到先進的互連結構。NOVELLUS Concept 2 Triple Speed專為方便高效的操作而設計,可實現更快的安裝時間和更少的維護停機時間。它的設計還允許更快的晶圓傳輸時間，這可以降低周期時間，提高吞吐量。該機還具有多種增強工藝穩定性的特點。其中包括兩個氣體通道、移動媒體源和改進的氣體輸送工具。這使資產能夠提供更幹凈、更一致的流程結果。該模型還具有高度靈活的體系結構,有多種選項可最大限度地提高流程能力和吞吐量。這包括集成的流程引擎、擴展的腔室配置和自動清潔解決方案。最後，Concept 2 Triple Speed被設計為比其他系統使用更少的能量，使其操作更有效率和成本效益。總體而言，NOVELLUS Concept 2三速反應堆是半導體行業的強大解決方案。它提供高性能、多功能性和成本效益,是各種應用程序的理想選擇。