二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #152911 待售

NOVELLUS CONCEPT 2 Reactor是用於先進半導體器件制造的高端等離子蝕刻設備。該系統提供各種蝕刻工藝,用於蝕刻各種材料。它提供了比傳統蝕刻系統更好的過程控制和一致性。CONCEPT 2 Reactor是一種多功能反應堆，能夠蝕刻多種特性，氣體選擇廣泛。它結合了自動優化過程的智能過程控制（IPC），同時監測蝕刻化學和底物溫度。高級電容特性在每次配方設置後恢復均勻性。此外，高容量基板處理單元提供了更高的吞吐量和更好的配方傳輸時間。反應堆的非磨料加工機也有助於減少蝕刻室壁上的磨損，導致蝕刻輪廓更加均勻。反應堆的其他特點包括實時氣體監測儀，允許用戶分析過程氣體並快速補救任何蝕刻過程問題。此外，高精度石英等離子體源可確保所有基板上均勻蝕刻，無論晶圓大小如何。當缺陷在設計中仍然可見時,自動端點控制功能將停止蝕刻過程。這有助於降低特征崩潰和侵蝕的風險。最後，NOVELLUS CONCEPT 2反應堆內提供的先進蝕刻配方進一步提升了蝕刻工藝的整體質量。通過使用基於客戶期望的結果的精確參數，可以實現極其幹凈和統一的特性。IPC庫可用於存儲配方和過程變量，允許用戶快速復制蝕刻配置文件。總之，CONCEPT 2 Reactor是一種最先進的蝕刻工具，提供改進的資產控制、統一性和吞吐量。其先進的特性使其成為高端半導體器件的理想型號。憑借其精確的工藝配方和IPC庫，NOVELLUS CONCEPT 2 Reactor有助於確保清潔和一致的蝕刻工藝。