二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #293622194 待售

NOVELLUS CONCEPT 2是一種先進的化學氣相沈積（CVD）反應器，設計用於在功率、溫度和時間速率條件的極端條件下工作。這一設備提供了薄膜沈積均勻性和對各層金屬和介電材料的精確控制，使其非常適合先進的光學、電子或半導體應用。CONCEPT 2的獨特設計包括徑向和線性流動反應堆的組合，以及冷墻結構和先進的均勻性和耐用性的敏感器設計。徑向流動反應器和敏感器是為有效利用熱能和流動能量而設計的，這有助於減少冷卻時間。這使底物溫度最大化，循環時間最小化，從而使薄膜沈積均勻性更好。NOVELLUS CONCEPT 2還包括先進的晶圓冷卻系統，可以快速降低基板溫度，實現材料在整個表面的均勻分布。該機組還利用集成的溫流控制機，維持過程溫度的穩定性和流過反應堆的流量。這確保了整個反應堆壽命期間動態、一致和可重復的過程結果。先進的計量工具有助於監控所有關鍵工藝參數,並提供高精度測量,包括層厚度、摻雜水平、蝕刻速率、晶圓形狀和接觸電位。該資產還通過持續監測沈積均勻性、著色率和其他基材參數來確保高吞吐量和低周期時間。CONCEPT 2具有創新的平臺體系結構,可為要求最苛刻的應用程序提供模塊化和可擴展性。此模型具有廣泛的功能和高級功能,非常適合需要卓越的薄膜均勻性、精確控制層數和縮短周期時間的應用。NOVELLUS CONCEPT 2無論用於微電子、高級光學、生物醫學還是消費者應用,都提供了卓越的工藝靈活性和精確度。